Parylene派瑞林涂层的化学材料

聚对二甲苯（parylene）的制备过程是采用真空汽相成膜法。即将对二甲苯环状二聚体经加热汽化后再经高温热裂解成双游离基气体，此气体在真空条件下导入成膜室直接冷凝聚合成膜。

二聚体汽化-----裂解开环-----聚合

Parylene是对一系列聚合物的通称，根据分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、D型、HT型等多种类型。目前我公司已开发了N,C,D,HT四种粉材：

Parylene N   聚对二甲苯，具有最强的渗透能力，能够有效地在各种细缝或盲孔表面形成薄膜。它的介电常数极低(2.65)及耗散因子小，且随外界频率的增加变化不大；同时具有佳的润滑效果，主要用于橡胶、光学领域。

Parylene C   在芳烃上一个氢被氯原子取代，具有非常低的水分子和腐蚀性气体的透过率，沉积生长速率也比N型快得多，是目前应用防护效果好的粉材。

Parylene D   在芳烃上二个氢被二个氯原子取代，具有阻燃性。在更高温度下具有相对更好的物理及电性能，同时与N、C型相比，具有更好的热稳定性。

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